Массовые расходомеры Brooks Instrument

Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в режиме реального времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность низкого заданного значения и снижает требования к техническому обслуживанию. Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15% от диапазона корзины) уменьшает утечку клапана для снижения эффекта первой пластины. Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения стабильного массового расхода.

Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — именно такие характеристики обеспечивают массовые регуляторы расхода и измерительные приборы серии GF100 с металлическим уплотнением. Разработанная для полупроводников, MOCVD и других приложений управления потоком газа, серия GF100 превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяющиеся, высокостабильные характеристики в течение долгого времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности.

Для многих промышленных и полупроводниковых процессов решающее значение имеют производительность и экономическая эффективность. Металлические герметичные массовые регуляторы расхода и расходомеры серии GF80 обеспечивают и то, и другое: Созданные на основе того же быстродействующего датчика и запатентованной технологии MultiFlo™ 4-го поколения, что и наши бестселлеры серии GF100, они являются правильным выбором для предприятий, которым требуется высокая производительность по выгодной цене. Переход на MFC с металлическим уплотнением дает все преимущества MultiFloTM с возможностью работы с несколькими газами/многими диапазонами, поскольку нет ограничений по используемым газам, повышенная чистота газа благодаря устранению проницаемости кислорода через эластомеры, а также снижение затрат на техническое обслуживание, поскольку металлические уплотнения служат неограниченное время.

Массовые регуляторы расхода серии 5850EM с металлическим уплотнением измеряют и контролируют потоки газа высокого давления в сверхчистых средах с проверенной стабильностью, основанной на характеристиках широко используемых МФК серии 5850E и i. Металлическая герметичная конструкция и электрополированные смачиваемые поверхности обеспечивают исключительную целостность потока и помогают повысить общую эффективность процесса, устраняя необходимость постоянного контроля и перенастройки давления газа для обеспечения стабильного потока газа.

Представьте себе выбор всего одной платформы контроллера массового расхода для обработки четырнадцати различных давлений или скоростей потока в одном процессе. И все это при обеспечении точно такого же, сверхточного и воспроизводимого выходного сигнала на другой стороне. Такова передовая простота, которую вы получаете с цифровыми контроллерами массового расхода и расходомерами серии SLA5800.

Высокотемпературные регуляторы массового расхода серии 5850EMH с металлическим уплотнением от компании Brooks Instrument сочетают в себе исключительную герметичность металлических уплотнений с разнообразием опций, обеспечивающих максимальную гибкость применения. Сердцем серии 5850EMH является высокостабильный датчик, который обеспечивает электрический выходной сигнал, линейный в зависимости от скорости потока. Этот сигнал используется для индикации, записи и/или управления без необходимости использования схемы автообнуления.

Несколько газов в одном устройстве — это максимальная гибкость и производительность процесса. Герметичные массовые расходомеры и контроллеры серии GF40 с эластомерным уплотнением и эксклюзивной технологией MultiFlo™ от Brooks Instrument — идеальный выбор для систем, процессов и объектов, в которых используются различные газы, часто меняются типы газов или требуется изменение диапазона при сохранении точности измерения и контроля газа. Это обеспечивает новый уровень гибкости процесса в сочетании с беспрецедентными характеристиками измерения и регулирования расхода.

Достигайте превосходной точности и непревзойденной стабильности нуля при измерении и контроле сверхмалых расходов газа и жидкости с помощью кориолисовых контроллеров массового расхода Quantim® и измерителей от Brooks Instrument. Благодаря серии Quantim® компания Brooks взяла на себя ведущую роль в совершенствовании технологии кориолисовых расходомеров: Наша запатентованная конструкция датчика Кориолиса Quantim® измеряет малые потоки независимо от типа жидкости или переменных процесса. Результат: непревзойденные характеристики — наиболее точное, стабильное, воспроизводимое и повторяющееся измерение и контроль массового расхода даже в изменяющихся условиях.

В каждой линейке продукции есть «рабочая лошадка» — наши термомассовые расходомеры серии 5850E как раз подходят для этого. Активно используемые на протяжении десятилетий в тысячах приложений по всему миру, они используют уникальный, чрезвычайно стабильный датчик расхода для обеспечения надежного, точного и воспроизводимого измерения и управления, которые требуются в современных сложных промышленных процессах.

Будь то пыль, влага, экстремальные температуры или требования к мытью, герметичные термомассовые расходомеры серии SLAMf, выполненные из эластомеров, обеспечивают точность и долговременную стабильность наших проверенных счетчиков и контроллеров семейства SLA5800. Специально разработанный корпус NEMA4X/IP66 защищает нашу передовую цифровую электронику и обеспечивает стабильное, точное измерение и управление массовыми потоками газа, критичными для технологического процесса.

Чем быстрее реагируют ваши контроллеры и измерители теплового массового расхода, тем более эффективными и производительными могут быть ваши процессы. В этом ключевое преимущество контроллеров и счетчиков серии 4800: Усовершенствованный тепловой датчик на основе MEMS в сочетании с запатентованным алгоритмом PID для оптимизации реакции регулирующего клапана позволяет контроллерам серии 4800 быстро согласовывать фактический массовый расход с любыми изменениями заданного значения. Дополнительный интерфейс локального оператора (LOI) обеспечивает удобный пользовательский интерфейс для просмотра, управления и конфигурирования устройств, устраняя необходимость в удаленной вторичной электронике.

Если вам нужен компактный, экономичный массовый расходомер, обеспечивающий долговременное и стабильное измерение расхода без необходимости коррекции по температуре или давлению, тепловой массовый расходомер серии 5700 отвечает вашим требованиям. Он разработан специально для нужд измерения расхода продувочного газа, технологического анализа и аналитических измерений: экономичный и стабильный, с электрическим выходным сигналом, что делает его идеальным для замены турбинных расходомеров, расходомеров с переменной площадью и других объемных устройств.

Серия GP200 — это первый полностью нечувствительный к давлению массовый регулятор расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников.