Параллельный импорт контрольно-измерительных приборов из США, Европы, Индии и Китая
Параллельный импорт контрольно-измерительных приборов из США, Европы, Индии и Китая
Серия GP200 — это первый полностью нечувствительный к давлению массовый регулятор расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников.
Производитель Brooks Instrument , Модель GP200
Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион
Срок поставки: от 8 недель
цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks GP200 по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.
Под заказ
Гарантированные поставки от зарубежных производителей
Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.
Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций
Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.
Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии
Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.
Профессиональный консалтинг и подбор аналогов
Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.
P-MFC серии GP200 имеет запатентованную архитектуру, которая позволяет преодолеть ограничения обычных P-MFC и обеспечить наиболее точную подачу технологического газа даже при подаче технологических газов с низким давлением пара. Она включает несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик дифференциального давления в сочетании с архитектурой клапана нисходящего потока, что обеспечивает наиболее точную подачу технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон технологических условий, ее можно использовать в качестве замены и модернизации для многих традиционных P-MFC и тепловых MFC. Он снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и преобразователи.
Особенности
Преимущества
Сферы применения
| Тип продукта | Контроллер массового расхода |
| Дифференциатор | Полностью нечувствительный к давлению P-MFC Самая точная подача технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий |
| Производительность | |
| Диапазон расхода (полная производительность) | 3 см3/мин — 50 000 см3/мин |
| Точность | Клапан нулевой утечки <± 1% SP (5-100% FS) <± 0,05% полной шкалы (0,5–5% полной шкалы) Клапан с металлическим уплотнением <± 1% SP (5-100% FS) <± 0,05% полной шкалы (2-5% полной шкалы) |
| Повторяемость | < ±0,15 % SP |
| Время отклика | 280 ± 20 мс Согласованная переходная характеристика для любой восходящей или нисходящей ненулевой уставки |
| Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | Стандарт MultiFlo™ |
| Нечувствительность к скачкам давления | < ± 1% SP до скачка давления на входе до 40 psi/сек |
| Диапазон управления | Клапан нулевой утечки 0,5–100 % полной шкалы Клапан с металлическим уплотнением 2 — 100 % полной шкалы |
| Количество бункеров | Девять (9) стандартных диапазонов ячеек |
| Нулевая стабильность | < ±0,15% полной шкалы в год |
| Температурный коэффициент потока | Ноль: 0,005% полной шкалы на °C Диапазон: 0,05% SP на °C |
| Механика | |
| Материал уплотнения | Металл |
| Уровень чистоты/обработка поверхности | 5 µ дюймов Ra в среднем |
| Смачиваемые материалы | 316 л Хастеллой С-22 Нержавеющая сталь 316/316L 304 нержавеющая сталь KM-45 PCTFE |
| Опции клапана | нормально закрытый |
| Коэффициенты | |
| Максимальная температура | 60 o С |
| Диапазон дифференциального давления | Мин.: 7 фунтов на кв. дюйм Макс: до 50 фунтов на квадратный дюйм |
| Максимальное давление | 150 фунтов на квадратный дюйм |
| Диагностика и отображение | |
| Диагностические возможности | Доступно |
| Индикаторы состояния | Сеть устройств MFC Состояние Статус сети EtherCAT Запуск Ошибка Питание Статус сети RS-485 (аналоговый) Статус сети |
| Сигналы тревог | Отклонения в управлении технологическим процессом Поток Температура *Полный список аварийных сигналов см. в дополнительных руководствах по связи. |
| Диагностический/служебный порт | RS-485 через микро-USB |
| Отображение | Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением Угол обзора: вращающийся Расстояние просмотра: 10 футов Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа) Разрешение: 0,1 (единица измерения) |
| Электрооборудование | |
| Аналоговая связь | 0-5 В постоянного тока |
| Цифровая связь | DeviceNet™ EtherCAT® L-протокол RS-485 |
| Электрическое подключение | Аналоговый/RS-485 через 9-контактный разъем «D» DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» EtherCAT® через разъемы RJ45, питание через 5-контактный разъем M8 |
| Электропитание/потребление | Аналоговый/RS-485 L протокол: макс. 6 Вт при ±15 В пост. тока (±10%) или +24 В пост. тока (±10%) DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока, макс. 250 мА при 24 В постоянного тока EtherCAT™: макс. 360 мА при +18–30 В пост. тока, макс. 270 мА при 24 В пост. (При типичных условиях эксплуатации) |
| Сертификаты соответствия | |
| EMC | 2014/30/EU Директива по электромагнитной совместимости EN:61326-1: 2013 |
| Экологическое соответствие | 2011/65/ЕС и 2015/863/ЕС Директива RoHS Директива ЕС 1907/2006 REACH |
Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks GP200» с помощью специальной формы.
Вы можете купить Brooks Instrument GP200 в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте info@mirkip.ru. Стоимость Brooks Instrument GP200 может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)
