+7 (495) 504 15 91

Пн-Пт: с 9:00 до 17:00 по МСК

Email:

Brooks VDM300 DI Модуль подачи пара

Модуль подачи пара (VDM) компании Brooks Instrument — это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной подачи деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Он имеет энергоэффективную конструкцию, позволяющую генерировать пар сверхвысокой чистоты при низкой температуре. В нем используется проверенная технология подачи пара и сочетается с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом удобном корпусе.

Производитель Brooks Instrument , Модель VDM300 DI

Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион

Срок поставки: от 8 недель

цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks VDM300 DI по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.

Галочка Галочка

Под заказ

Преимущество

Гарантированные поставки от зарубежных производителей

Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.

Преимущество

Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций

Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.

Преимущество

Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии

Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.

Преимущество

Профессиональный консалтинг и подбор аналогов

Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.

Описание модуля подачи пара Brooks VDM300 DI

Разработанный для современных процессов пассивации полос и после травления металла, VDM обеспечивает повышенную точность, более высокую скорость потока, более широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами флэш-испарения. Основанная на проверенных методах измерения теплового массового расхода, система VDM производит пар в неперегретом парообразном состоянии, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, что повышает надежность и чистоту работы.
VDM предлагает удобные для пользователя функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.

Особенности

  • Диапазон расхода: 3 сл/мин (пар DIW)
  • Прямое измерение водяного пара с превосходной точностью расхода
  • Подключается непосредственно к источнику деионизированной воды в доме
  • Работает при более низких температурах (в неперегретом состоянии)
  • Оптимизированная конструкция для промывки и слива
  • Цифровые коммуникации EtherCAT
  • Графический пользовательский интерфейс Brooks Expert Support Tool (BEST)

Преимущества

  • Используется проверенный, надежный метод измерения и контроля расхода тепловой массы
  • Высокая устойчивость к изменению давления подачи воды DI в лабораторных условиях
  • Улучшенная коррозионная стойкость в контуре смачивания
  • Обеспечивает более чистую работу
  • Интерфейс инструмента с использованием аналоговых или цифровых коммуникаций
  • Прямой пользовательский интерфейс для расширенного сбора данных или поиска неисправностей

Сферы применения

  • Процесс постметаллического травления кремниевых полупроводников
  • Процесс металлизации кремниевых полупроводников
  • Увлажнение сверхвысокой чистоты в субатмосферных средах

Технические характеристики Brooks VDM300 DI

Тип продукта Модуль подачи водяного пара DI
Дифференциатор Сверхчистый пар DIW
Высочайшая точность потока
Компактная конструкция
EtherCAT-интерфейс
Метод испарения Паровая тяга
Тип жидкости Сверхвысокая деионизированная вода
Диапазон расхода (полная производительность) 3000 см3/мин
Диапазон изменения коэффициента 20:1
Время отклика <2 сек
Точность ±1% SP при >10% FS
±0,2 % полной шкалы при 5–10 % полной шкалы
Линейность ± 0,5% полной шкалы
Повторяемость <±0,2% полной шкалы
Температурный коэффициент подачи 0,05% на °C ноль и диапазон
Клапан закрыт Нормально закрытый клапан: <0,5% полной шкалы
Электрооборудование
Аналоговая связь от 0 до 5-24 В постоянного тока
Цифровая связь EtherCAT через два разъема RJ-45
Диагностика (RS485) через microUSB
Электрическое подключение 208–230 В переменного тока, 50/60 Гц, номинальная мощность 290 Вт (нагреватель резервуара)
± 15 В пост. тока, ± 5 % при 1,2 А (нагреватель MFC и печатная плата)
Индикаторы состояния Нуль
Устройство готово
Разогрев
Ошибка устройства
Ошибка ЕСАТ
EtherCAT Запустить
Связь EtherCAT активна
Диагностический/служебный порт RS-485 через microUSB
Фитинги Выходной пар: 1/2 «мама видеомагнитофона
Вход деионизированной воды: 1/4 дюйма, наружная резьба VCR или компрессионная трубка
Дренаж воды DI: мгновенный трубный фитинг 1/8 дюйма
Монтажная ориентация Вертикально с входными патрубками DIW вниз
Коэффициенты
Максимальное давление Выход пара: 200 торр
Давление подачи Деионизированная вода: 10–40 фунтов на кв. дюйм изб.
Продувка N 2 : 10–40 фунтов на кв. дюйм изб.
Диапазон температуры окружающей среды 15 — 45°С
Внутренний объем от 0 до 95 % относительной влажности, без конденсации
Сертификаты соответствия
EMC Электромагнитная совместимость (ЭМС): Полностью соответствует Директиве 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)
Директива по низкому напряжению (LVD): Полностью соответствует Директиве 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)
Экологическое соответствие Директива RoHS (2011/65/ЕС)
REACH Директива ЕС 1907/2006
SEMI E54.20-1108: Стандарт сетевой связи датчика/привода для EtherCAT®

Инструкция по эксплуатации Brooks VDM300 DI

Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks VDM300 DI» с помощью специальной формы.

Вы можете купить Brooks Instrument VDM300 DI в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте . Стоимость Brooks Instrument VDM300 DI может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)

Смотрите также: Каталог Brooks Instrument