Brooks VDM300 DI Модуль подачи пара

Модуль подачи пара (VDM) компании Brooks Instrument — это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной подачи деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Он имеет энергоэффективную конструкцию, позволяющую генерировать пар сверхвысокой чистоты при низкой температуре. В нем используется проверенная технология подачи пара и сочетается с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом удобном корпусе.

Производитель Brooks Instrument , Модель VDM300 DI

Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион

Срок поставки: от 8 недель

цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks VDM300 DI по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.

Под заказ

Гарантированные поставки от зарубежных производителей

Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.

Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций

Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.

Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии

Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.

Профессиональный консалтинг и подбор аналогов

Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.

Описание модуля подачи пара Brooks VDM300 DI

Разработанный для современных процессов пассивации полос и после травления металла, VDM обеспечивает повышенную точность, более высокую скорость потока, более широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами флэш-испарения. Основанная на проверенных методах измерения теплового массового расхода, система VDM производит пар в неперегретом парообразном состоянии, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, что повышает надежность и чистоту работы.
VDM предлагает удобные для пользователя функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.

Особенности

Диапазон расхода: 3 сл/мин (пар DIW)
Прямое измерение водяного пара с превосходной точностью расхода
Подключается непосредственно к источнику деионизированной воды в доме
Работает при более низких температурах (в неперегретом состоянии)
Оптимизированная конструкция для промывки и слива
Цифровые коммуникации EtherCAT
Графический пользовательский интерфейс Brooks Expert Support Tool (BEST)

Преимущества

Используется проверенный, надежный метод измерения и контроля расхода тепловой массы
Высокая устойчивость к изменению давления подачи воды DI в лабораторных условиях
Улучшенная коррозионная стойкость в контуре смачивания
Обеспечивает более чистую работу
Интерфейс инструмента с использованием аналоговых или цифровых коммуникаций
Прямой пользовательский интерфейс для расширенного сбора данных или поиска неисправностей

Сферы применения

Процесс постметаллического травления кремниевых полупроводников
Процесс металлизации кремниевых полупроводников
Увлажнение сверхвысокой чистоты в субатмосферных средах

Технические характеристики Brooks VDM300 DI

Тип продукта	Модуль подачи водяного пара DI
Дифференциатор	Сверхчистый пар DIW Высочайшая точность потока Компактная конструкция EtherCAT-интерфейс
Метод испарения	Паровая тяга
Тип жидкости	Сверхвысокая деионизированная вода
Диапазон расхода (полная производительность)	3000 см3/мин
Диапазон изменения коэффициента	20:1
Время отклика	<2 сек
Точность	±1% SP при >10% FS ±0,2 % полной шкалы при 5–10 % полной шкалы
Линейность	± 0,5% полной шкалы
Повторяемость	<±0,2% полной шкалы
Температурный коэффициент подачи	0,05% на °C ноль и диапазон
Клапан закрыт	Нормально закрытый клапан: <0,5% полной шкалы
Электрооборудование
Аналоговая связь	от 0 до 5-24 В постоянного тока
Цифровая связь	EtherCAT через два разъема RJ-45 Диагностика (RS485) через microUSB
Электрическое подключение	208–230 В переменного тока, 50/60 Гц, номинальная мощность 290 Вт (нагреватель резервуара) ± 15 В пост. тока, ± 5 % при 1,2 А (нагреватель MFC и печатная плата)
Индикаторы состояния	Нуль Устройство готово Разогрев Ошибка устройства Ошибка ЕСАТ EtherCAT Запустить Связь EtherCAT активна
Диагностический/служебный порт	RS-485 через microUSB
Фитинги	Выходной пар: 1/2 «мама видеомагнитофона Вход деионизированной воды: 1/4 дюйма, наружная резьба VCR или компрессионная трубка Дренаж воды DI: мгновенный трубный фитинг 1/8 дюйма
Монтажная ориентация	Вертикально с входными патрубками DIW вниз
Коэффициенты
Максимальное давление	Выход пара: 200 торр
Давление подачи	Деионизированная вода: 10–40 фунтов на кв. дюйм изб. Продувка N 2 : 10–40 фунтов на кв. дюйм изб.
Диапазон температуры окружающей среды	15 — 45°С
Внутренний объем	от 0 до 95 % относительной влажности, без конденсации
Сертификаты соответствия
EMC	Электромагнитная совместимость (ЭМС): Полностью соответствует Директиве 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013) Директива по низкому напряжению (LVD): Полностью соответствует Директиве 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)
Экологическое соответствие	Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 SEMI E54.20-1108: Стандарт сетевой связи датчика/привода для EtherCAT®

Инструкция по эксплуатации Brooks VDM300 DI

Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks VDM300 DI» с помощью специальной формы.

Вы можете купить Brooks Instrument VDM300 DI в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте info@mirkip.ru. Стоимость Brooks Instrument VDM300 DI может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)

Смотрите также: Каталог Brooks Instrument