+7 (495) 504 15 91

Пн-Пт: с 9:00 до 17:00 по МСК

Email:

Термомассовый расходомер Brooks GF100 EtherCAT

Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в режиме реального времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность низкого заданного значения и снижает требования к техническому обслуживанию. Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15% от диапазона корзины) уменьшает утечку клапана для снижения эффекта первой пластины. Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения стабильного массового расхода.

Производитель Brooks Instrument , Модель GF100 EtherCAT

Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион

Срок поставки: от 8 недель

цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks GF100 EtherCAT по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.

Галочка Галочка

Под заказ

Преимущество

Гарантированные поставки от зарубежных производителей

Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.

Преимущество

Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций

Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.

Преимущество

Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии

Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.

Преимущество

Профессиональный консалтинг и подбор аналогов

Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.

Описание расходомера Brooks GF100 EtherCAT

Особенности 

  • Долгосрочная стабильность нуля <±0,15% полной шкалы в год
  • Время установления: 300 мс — <1 секунды
  • Скорость полномасштабного потока до 300 сл/мин
  • Проточный канал с цельнометаллическим уплотнением: возможность выбора для обработки поверхности 5µ или 10µ дюймов Ra
  • Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
  • Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM — одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или ухудшения точности
  • Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт облегчают установку, мониторинг и устранение неисправностей прибора
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) — это современный контроллер массового расхода компании Brooks с низким перепадом давления для подачи газов с системой безопасной подачи (SDS) в условиях пониженной атмосферы, используемых в процессах имплантации и травления.

Преимущества

  • Исключительная производительность
  • Быстрое время реакции повышает эффективность приложений
  • Гибкая топология
  • Практически неограниченные возможности топологии сети
  • Простота и надежность
  • Конфигурация, диагностика и обслуживание
  • Доступность
  • Стандартный порт Ethernet

Сферы применения

  • Инструменты для травления полупроводников
  • Системы тонкопленочного химического осаждения из паровой фазы (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)
  • Системы эпитаксиального процесса

Технические характеристики Brooks GF100 EtherCAT

Тип продукта Контроллер массового расхода
Дифференциатор EtherCAT-коммуникация
Высокая чистота/сверхвысокая чистота
Встроенная диагностика
Сверхстабильный датчик потока
Улучшенное отключение клапана
Производительность
Диапазон расхода (полная производительность) Стандартная серия GF: 3 см3/мин – 55 см/м
Серия High Flow GF: 55 ст/мин — 300 ст/мин
Точность Стандартная серия GF: ±1% SP > 20-100%; ±0,2 % полной шкалы 2–20 %
Серия GF с высоким расходом: ±1% SP > 35-100%; ±0,35 % полной шкалы 2–35 %
Повторяемость < ±0,15 % SP
Время отклика Нормально закрытый клапан: 300 мс — < 1 с
Доставка газа SDS: < 3 сек.
Время отклика Нормально открытый клапан: <1,5 с (конкретные модели)
Нечувствительность к скачкам давления Конкретные модели
Возможность настройки нескольких газов и диапазонов MultiFlo™ Standard (большинство моделей)
Диапазон управления Стандартная серия GF: 2-100%
Серия GF с высоким расходом: 5–100 %
Количество бункеров Стандартная серия GF: 11 бункеров
Серия High Flow GF: 4 бункера
Клапан закрыт Стандартная серия GF: <0,15% полной шкалы
Серия GF с высоким расходом: < 2 % полной шкалы при выходном давлении 30 N2 psig/atm
Нулевая стабильность < ±0,15% полной шкалы в год
Температурный коэффициент потока Диапазон: 0,05% SP на °C
Ноль: 0,005% полной шкалы на °C
Механика
Материал уплотнения Металл
Уровень чистоты/обработка поверхности 5 — 10µ дюймов Ra
Смачиваемые материалы SEMI F20 HP/UHP-совместимый
316 л ВИМ/ВАР
Hastelloy C-22
Нержавеющая сталь 316L
304 нержавеющая сталь
КМ-45
Опции клапана нормально закрытый
Нормально открытый (только для определенных моделей)
Счетчик (без клапана)
Коэффициенты
Максимальная температура 50 oC
Диапазон дифференциального давления 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм
861–7200 см3/мин = 10–45 фунтов на кв. дюйм
7201-55000 см3/мин = 15-45 фунтов на квадратный дюйм
51 слм-300 слм = 30-90 фунтов на квадратный дюйм
Модели SDS 10 торр — 30 фунтов на кв. дюйм, тип.
* Типичные перепады давления. Обратитесь в службу технической поддержки для получения дополнительной информации.
Максимальное давление Стандартная серия GF: до 500 фунтов на кв. дюйм макс.
Серия GF с высоким расходом: 75 фунтов на кв. дюйм (контроллер), 150 фунтов на кв. дюйм (манометр)
Утечка целостности 1×10 -10 атм см3/с He
Диагностика и отображение
Диагностические возможности Доступно
Индикаторы состояния Запуск
Ошибка
Питание
Статус сети
Сигналы тревог Выход регулирующего клапана
Прерывание сети
Температура высокая/низкая
Давление высокое/низкое
Скачки/провалы мощности
Диагностический/служебный порт Микро USB
Отображение Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением
Угол обзора: фиксированный
Расстояние просмотра: 10 футов
Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа)
Разрешение: 0,1 (единица измерения)
Электрооборудование
Аналоговая связь
Цифровая связь EtherCAT®
Электрическое подключение Питание через 5-контактный разъем M8, EtherCAT через двойной RJ45
Электропитание/потребление 24 В постоянного тока, 7 Вт
(При типичных условиях эксплуатации)

Инструкция по эксплуатации Brooks GF100 EtherCAT

Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks GF100 EtherCAT» с помощью специальной формы.

Вы можете купить Brooks Instrument GF100 EtherCAT в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте . Стоимость Brooks Instrument GF100 EtherCAT может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)