Приборы для измерения и контроля давления Brooks Instrument

Механические манометры Brooks Instrument серии 122 были спроектированы и разработаны для требовательных высокочистых применений в полупроводниковой промышленности. Изготовленные из нержавеющей стали, наши механические манометры имеют точность 1% от полной шкалы. Эти двухдюймовые манометры являются долговечными измерительными устройствами, которые поставляются с различными технологическими соединениями, диапазонами давления и ориентацией гнезд, предлагая надежный и эффективный способ локального контроля давления. Получите точные, высокопроизводительные результаты от ведущего мирового поставщика манометров.

Для измерения давления в системах сверхвысокой чистоты и специальных газах во многих отраслях промышленности датчики и преобразователи давления должны обеспечивать стабильность и точность. Именно поэтому преобразователи высокого давления Brooks Instrument SolidSense II® сочетают в себе бесшовные, коррозионностойкие материалы и конструкцию, обеспечивающую превосходную стабильность нуля и точность в пределах 0,25% от полной шкалы.

Мы избегаем проблем, связанных с дрейфом нуля и диапазона, тепловым сдвигом и напряжением корпуса, которые приводят к проблемам технического обслуживания и простоям конкурирующих датчиков высокого давления. Вместо этого приборы SolidSense II® обеспечивают надежную, простую в обслуживании конструкцию, которая снижает общую стоимость владения.

Регулятор давления и расходомер Brooks модели 5866RT с металлическим или эластомерным уплотнением контролирует давление, одновременно измеряя расход. Модель 5866RT получает сигнал от удаленного датчика давления и с помощью регулируемой встроенной электроники ПИД-регулирования и регулирующего клапана поддерживает заданное давление. Благодаря опциям уплотнений, электрополированным смачиваемым поверхностям и широкому диапазону измерения давления и расхода, модель 5866RT обеспечивает проверенные результаты в широком диапазоне процессов.

Регуляторы давления серии SLA5800 с широким набором опций и функций позволяют автоматизировать управление давлением и воспользоваться преимуществами согласованности процессов при использовании единой платформы в сочетании с нашими ведущими в отрасли контроллерами массового расхода и измерителями серии SLA5800.

Будь то пыль, влага, экстремальные температуры или требования к мытью, герметичные регуляторы давления серии SLAMf, выполненные из эластомера, обеспечивают точную точность и долговременную стабильность наших проверенных термомассовых расходомеров и контроллеров семейства SLA5800. Специально разработанный корпус NEMA4X/IP66 защищает нашу передовую цифровую электронику и обеспечивает стабильное, точное измерение давления и управление критическими для технологического процесса массовыми потоками газа и жидкости.

Контроллеры и измерители давления серии PC100 сочетают в себе множество высокопроизводительных технологических характеристик, обеспечивающих новый уровень точности и надежности регулирования давления в сложных процессах производства полупроводников, осаждения паров и других сверхточных процессов.

Емкостные манометры серии MC от Brooks Instrument обеспечивают надежное и точное измерение вакуума в широком диапазоне рабочих температур, являясь экономичной альтернативой более крупным манометрам премиум-класса без подогрева. Компактная конструкция и проверенные рабочие характеристики делают их идеальной модернизацией для существующих инструментов, нуждающихся в малом форм-факторе манометра.

Максимально повысьте эффективность и производительность ваших процессов, зависящих от вакуума: Выбирайте цифровые вакуумные емкостные манометры серии XacTorr® от компании Brooks Instrument. Устройства серии XacTorr® обладают лучшими в отрасли характеристиками, которые повышают надежность измерений, минимизируют дрейф, противостоят загрязнению мембраны и минимизируют тепловые эффекты.

Вакуумметры серии VersaTorr BVT100 обладают лучшими в своем классе эксплуатационными характеристиками и установили новые стандарты, расширив диапазон измерения теплопроводности вакуумных манометров на 1-3 десятилетия.

Механический регулятор давления серии 8600 обеспечивает исключительную точность выходного давления благодаря управлению давлением подачи с высоким разрешением. Регулятор давления обеспечивает герметичное отключение гелия при давлении 7 бар.

Установите новые стандарты с помощью преобразователя Пирани серии VersaTorr BVT200/225. Это универсальное решение для измерения в широком диапазоне для широкого спектра вакуумных приложений. Он отличается от любых других вакуумметров тем, что предлагает общее экономически эффективное газонезависимое измерение от 5,0E-3 до 1333 мбар в сочетании с измерением до 1E-6 мбар за счет использования принципа тепловых потерь.