Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — именно такие характеристики обеспечивают массовые регуляторы расхода и измерительные приборы серии GF100 с металлическим уплотнением. Разработанная для полупроводников, MOCVD и других приложений управления потоком газа, серия GF100 превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяющиеся, высокостабильные характеристики в течение долгого времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности.
Производитель Brooks Instrument , Модель GF100
Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион
Срок поставки: от 8 недель
цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks GF100 по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.
Под заказ
Гарантированные поставки от зарубежных производителей
Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.
Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций
Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.
Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии
Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.
Профессиональный консалтинг и подбор аналогов
Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.
Преимущества
Сферы применения
Тип продукта | Контроллер массового расхода |
Дифференциатор | Высокая чистота/сверхвысокая чистота Стандартная серия GF Серия GF с высоким расходом Сверхбыстрое время отклика Нечувствительность к скачкам давления |
Производительность | |
Диапазон расхода (полная производительность) | Стандартная серия GF: 3 станд. куб/мин – 55 ст. л/мин Серия GF с высоким расходом: 55–300 л/мин |
Точность | ±1% SP > 35-100% ±0,35 % полной шкалы 2–35 % |
Повторяемость | < ±0,15 % SP |
Линейность | ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность) |
Время отклика | Нормально закрытый клапан: 300 мс — < 700 мс 700 мс — < 1 сек Доставка газа SDS: < 3 сек. |
Время отклика | Нормально открытый клапан: <1,5 с (конкретные модели) |
Возможность настройки нескольких газов и диапазонов | MultiFlo™ Standard (большинство моделей) |
Нечувствительность к скачкам давления | <5% SP для давления до 5 фунтов на кв. дюйм/с до давления. шип |
Диапазон управления | Стандартная серия GF: < 3-100% Серия GF с высоким расходом: 5–100 % |
Количество контейнеров | Стандартная серия GF: 11 контейнеров Серия High Flow GF: 4 контейнера |
Клапан закрыт | Стандартная серия GF: < 1% полной шкалы Серия GF с высоким расходом: < 2 % полной шкалы при выходном давлении 30 N2 psig/atm |
Нулевая стабильность | < ±0,5% полной шкалы в год |
Температурный коэффициент потока | Диапазон: 0,05% SP на °C Ноль: 0,005% полной шкалы на °C |
Механика | |
Материал уплотнения | Металл |
Уровень чистоты/обработка поверхности | 4 — 10 µ дюймов Ra |
Смачиваемые материалы | SEMI F20 HP/UHP-совместимый 316 л VIM/VAR Hastelloy С-22 Нержавеющая сталь 316L 304 нержавеющая сталь КМ-45 |
Опции клапана | нормально закрытый Нормально открытый (только для определенных моделей) Счетчик (без клапана) |
Коэффициенты | |
Максимальная температура | 50 o С |
Диапазон дифференциального давления | 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм 861–7200 см3/мин = 10–45 фунтов на кв. дюйм 7201-55000 см3/мин = 15-45 фунтов на квадратный дюйм 51 слм-300 слм = 30-90 фунтов на квадратный дюйм * Типичные перепады давления. Обратитесь в службу технической поддержки Brooks для получения дополнительной информации. |
Максимальное давление | Стандартная серия GF: макс. 500 фунтов на кв. дюйм Серия GF с высоким расходом: 75 фунтов на кв. дюйм (контроллер), 150 фунтов на кв. дюйм (манометр) |
Утечка целостности | 1×10 -10 атм см3/с He |
Диагностика и отображение | |
Диагностические возможности | Доступно |
Индикаторы состояния | МФЦ Здоровье Статус сети |
Сигналы тревог | Выход регулирующего клапана Прерывание сети |
Диагностический/служебный порт | RS-485 через разъем 2,5 мм (все модели) |
Отображение | Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением Угол обзора: фиксированный Расстояние просмотра: 10 футов Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа) Разрешение: 0,1 (единица измерения) |
Электрооборудование | |
Аналоговая связь | 0-5 В постоянного тока |
Цифровая связь | DeviceNet™ L-протокол RS485 |
Электрическое подключение | Аналоговый/RS485 через 9-контактный разъем «D» DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12» Доступны различные кабельные адаптеры. Дополнительную информацию см. в техническом паспорте продукта. |
Электропитание/потребление | Аналоговый/RS485 L-протокол: макс. 6 Вт при ±15 В пост. тока (±10%) или +24 В пост. тока (±10%) DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока, макс. 250 мА при 24 В постоянного тока (При типичных условиях эксплуатации) |
Сертификаты соответствия | |
EMC | Директива ЕС 2004/108/ЕС CE: EN61326-1: 2006 (FCC, часть 15 и канадский IC-подмножество тестов CE) |
Экологическое соответствие | Директива RoHS (2011/65/ЕС) REACH Директива ЕС 1907/2006 |
Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks GF100» с помощью специальной формы.
Вы можете купить Brooks Instrument GF100 в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте info@mirkip.ru. Стоимость Brooks Instrument GF100 может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)