+7 (495) 504 15 91

Пн-Пт: с 9:00 до 17:00 по МСК

Email:

Brooks GF100 Термомассовый расходомер

Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — именно такие характеристики обеспечивают массовые регуляторы расхода и измерительные приборы серии GF100 с металлическим уплотнением. Разработанная для полупроводников, MOCVD и других приложений управления потоком газа, серия GF100 превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяющиеся, высокостабильные характеристики в течение долгого времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности.

Производитель Brooks Instrument , Модель GF100

Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион

Срок поставки: от 8 недель

цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks GF100 по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.

Галочка Галочка

Под заказ

Преимущество

Гарантированные поставки от зарубежных производителей

Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.

Преимущество

Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций

Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.

Преимущество

Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии

Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.

Преимущество

Профессиональный консалтинг и подбор аналогов

Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.

Описание расходомера Brooks GF100

  • Долгосрочная стабильность нуля <±0,5% полной шкалы в год
  • Время установления: 300 мс — <700 мс или 700 мс — <1 секунда
  • Скорость полномасштабного потока до 300 сл/мин
  • Проточный канал с цельнометаллическим уплотнением: возможность выбора поверхности с шероховатостью 4µ или 10µ дюймов Ra
  • Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
  • Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM — одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или ухудшения точности
  • Локальный дисплей
  • Опциональная подача газа SDS
  • DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы

Преимущества

  • Высокопроизводительные компоненты прошли марафонские испытания на надежность, превышающую в семь раз стандарты полупроводниковой промышленности
  • Полностью металлический, устойчивый к коррозии проточный канал с уменьшенной площадью поверхности и незаполненными объемами обеспечивает более быстрое осушение во время этапов продувки.
  • Благодаря MultiFloTM новые технологические газы и/или диапазоны могут быть установлены менее чем за 60 секунд — больше не нужно снимать и калибровать MFC.
  • Высококонфигурируемая платформа позволяет заменять и модернизировать большинство марок металлических герметичных MFC, включая бывшие марки Celerity, Mykrolis, Tylan и UNIT.
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) — это современный контроллер массового расхода компании Brooks с низким перепадом давления для подачи газов с системой безопасной доставки (SDS) в субатмосферных условиях, используемых в процессах имплантации и травления.
  • Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт облегчают установку, мониторинг и устранение неисправностей устройства

Сферы применения

  • Инструменты для травления полупроводников
  • Системы тонкопленочного химического осаждения из паровой фазы (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)
  • Системы эпитаксиального процесса

Технические характеристики Brooks GF100

Тип продукта Контроллер массового расхода
Дифференциатор Высокая чистота/сверхвысокая чистота
Стандартная серия GF
Серия GF с высоким расходом
Сверхбыстрое время отклика
Нечувствительность к скачкам давления
Производительность
Диапазон расхода (полная производительность) Стандартная серия GF: 3 станд. куб/мин – 55 ст. л/мин
Серия GF с высоким расходом: 55–300 л/мин
Точность ±1% SP > 35-100%
±0,35 % полной шкалы 2–35 %
Повторяемость < ±0,15 % SP
Линейность ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность)
Время отклика Нормально закрытый клапан:
300 мс — < 700 мс
700 мс — < 1 сек
Доставка газа SDS: < 3 сек.
Время отклика Нормально открытый клапан: <1,5 с (конкретные модели)
Возможность настройки нескольких газов и диапазонов MultiFlo™ Standard (большинство моделей)
Нечувствительность к скачкам давления <5% SP для давления до 5 фунтов на кв. дюйм/с до давления. шип
Диапазон управления Стандартная серия GF: < 3-100%
Серия GF с высоким расходом: 5–100 %
Количество контейнеров Стандартная серия GF: 11 контейнеров
Серия High Flow GF: 4 контейнера
Клапан закрыт Стандартная серия GF: < 1% полной шкалы
Серия GF с высоким расходом: < 2 % полной шкалы при выходном давлении 30 N2 psig/atm
Нулевая стабильность < ±0,5% полной шкалы в год
Температурный коэффициент потока Диапазон: 0,05% SP на °C
Ноль: 0,005% полной шкалы на °C
Механика
Материал уплотнения Металл
Уровень чистоты/обработка поверхности 4 — 10 µ дюймов Ra
Смачиваемые материалы SEMI F20 HP/UHP-совместимый
316 л VIM/VAR
Hastelloy С-22
Нержавеющая сталь 316L
304 нержавеющая сталь
КМ-45
Опции клапана нормально закрытый
Нормально открытый (только для определенных моделей)
Счетчик (без клапана)
Коэффициенты
Максимальная температура 50 o С
Диапазон дифференциального давления 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм
861–7200 см3/мин = 10–45 фунтов на кв. дюйм
7201-55000 см3/мин = 15-45 фунтов на квадратный дюйм
51 слм-300 слм = 30-90 фунтов на квадратный дюйм
* Типичные перепады давления. Обратитесь в службу технической поддержки Brooks для получения дополнительной информации.
Максимальное давление Стандартная серия GF: макс. 500 фунтов на кв. дюйм
Серия GF с высоким расходом: 75 фунтов на кв. дюйм (контроллер), 150 фунтов на кв. дюйм (манометр)
Утечка целостности 1×10 -10 атм см3/с He
Диагностика и отображение
Диагностические возможности Доступно
Индикаторы состояния МФЦ Здоровье
Статус сети
Сигналы тревог Выход регулирующего клапана
Прерывание сети
Диагностический/служебный порт RS-485 через разъем 2,5 мм (все модели)
Отображение Встроенный ЖК-дисплей с верхним креплением
Угол обзора: фиксированный
Расстояние просмотра: 10 футов
Отображаемые единицы измерения: расход (%), температура (°C), давление (psi, кПа)
Разрешение: 0,1 (единица измерения)
Электрооборудование
Аналоговая связь 0-5 В постоянного тока
Цифровая связь DeviceNet™
L-протокол RS485
Электрическое подключение Аналоговый/RS485 через 9-контактный разъем «D»
DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12»
Доступны различные кабельные адаптеры. Дополнительную информацию см. в техническом паспорте продукта.
Электропитание/потребление Аналоговый/RS485 L-протокол: макс. 6 Вт при ±15 В пост. тока (±10%) или +24 В пост. тока (±10%)
DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока, макс. 250 мА при 24 В постоянного тока
(При типичных условиях эксплуатации)
Сертификаты соответствия
EMC Директива ЕС 2004/108/ЕС
CE: EN61326-1: 2006 (FCC, часть 15 и канадский IC-подмножество тестов CE)
Экологическое соответствие Директива RoHS (2011/65/ЕС)
REACH Директива ЕС 1907/2006

Инструкция по эксплуатации Brooks GF100

Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks GF100» с помощью специальной формы.

Вы можете купить Brooks Instrument GF100 в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте . Стоимость Brooks Instrument GF100 может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)