+7 (495) 504 15 91

Пн-Пт: с 9:00 до 17:00 по МСК

Email:

Brooks GF80 Термомассовый расходомер

Для многих промышленных и полупроводниковых процессов решающее значение имеют производительность и экономическая эффективность. Металлические герметичные массовые регуляторы расхода и расходомеры серии GF80 обеспечивают и то, и другое: Созданные на основе того же быстродействующего датчика и запатентованной технологии MultiFlo™ 4-го поколения, что и наши бестселлеры серии GF100, они являются правильным выбором для предприятий, которым требуется высокая производительность по выгодной цене. Переход на MFC с металлическим уплотнением дает все преимущества MultiFloTM с возможностью работы с несколькими газами/многими диапазонами, поскольку нет ограничений по используемым газам, повышенная чистота газа благодаря устранению проницаемости кислорода через эластомеры, а также снижение затрат на техническое обслуживание, поскольку металлические уплотнения служат неограниченное время.

Производитель Brooks Instrument , Модель GF80

Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион

Срок поставки: от 8 недель

цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks GF80 по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.

Галочка Галочка

Под заказ

Преимущество

Гарантированные поставки от зарубежных производителей

Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.

Преимущество

Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций

Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.

Преимущество

Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии

Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.

Преимущество

Профессиональный консалтинг и подбор аналогов

Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.

Описание расходомера Brooks GF80

  • Долгосрочная стабильность нуля <±0,5% полной шкалы в год
  • Время установления <1 секунды
  • Полномасштабные скорости потока до 300 сл/мин
  • Цельнометаллическое уплотнение проточной части — чистота поверхности 16µ дюймов Ra
  • Коррозионностойкий датчик Hastelloy® может работать при более низких температурах для газов, склонных к термическому разложению
  • Возможность программируемого MultiFloTM — одно устройство, тысячи типов газов и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или снижения точности.
  • Лучшие в своем классе характеристики температурного коэффициента благодаря активной температурной компенсации
  • Встроенные процедуры самодиагностики и независимый диагностический/сервисный порт
  • Тонкий корпус с фитингами VCR
  • DeviceNetTM, Profibus®, RS-485 и аналоговые интерфейсы

Преимущества

  • Быстрое время установления потока <1 секунды исключает бесполезную трату газа и изменчивость процесса
  • Отсутствие эластомерных уплотнений, которые могут пропитываться кислородом и со временем требовать замены.
  • MultiFloTM упрощает и оптимизирует смену технологических газов — больше не нужно снимать и калибровать MFC.
  • Новые газы и/или диапазоны могут быть установлены менее чем за 60 секунд
  • Точность измерений не зависит от колебаний температуры
  • Удобный доступ к диагностическому порту для максимального времени безотказной работы
  • Компактный размер облегчает интеграцию в узкие машинные пространства; отличный выбор для модернизации
  • Многопротокольный интерфейс связи упрощает интеграцию в существующие системы

Сферы применения

  • Экономически эффективная модернизация/модернизация устаревших МФУ в обновленных полупроводниковых технологических инструментах
  • Сокращение запасов МФК в шестидюймовых/восьмидюймовых полупроводниковых фабриках
  • MOCVD для производства светодиодов и силовых приборов
  • Системы химического осаждения из паровой фазы (CVD) солнечных батарей/тонких пленок
  • Аналитическое OEM-оборудование

Технические характеристики Brooks GF80

Тип продукта Контроллер массового расхода
Дифференциатор Высокая чистота
Производительность
Диапазон расхода (полная производительность) 3 см3 — 55 см2
Точность ±1% SP 35-100%
±0,35 % полной шкалы < 5–35 %
Повторяемость < ±0,2% SP
Линейность ±0,5% полной шкалы (учитывается погрешность)
Время отклика Нормально закрытый клапан: <1 сек.
Возможность настройки нескольких газов и диапазонов Доступен MultiFlo™
Нечувствительность к скачкам давления
Диапазон управления < 5% — 100%
Количество бункеров Стандартная серия GF: 11 бункеров
Серия High Flow GF: 4 бункера
Клапан закрыт Стандартная серия GF: < 1% полной шкалы
Серия GF с высоким расходом: < 4% от полной шкалы стандартной конфигурации при 30 фунт/кв. дюйм изб./атм. на выходе экв. N2.
Нулевая стабильность < ±0,5% полной шкалы в год
Механика
Материал уплотнения Металл
Уровень чистоты/обработка поверхности 16µ дюймов Ra
Смачиваемые материалы Нержавеющая сталь 316
Hastelloy С-22
17-7 пн
430SS
КМ-45
Опции клапана нормально закрытый
Счетчик (без клапана)
Коэффициенты
Максимальная температура 50 o С
Диапазон дифференциального давления 3-860 кубических сантиметров в минуту = 7-45 фунтов на квадратный дюйм
861-7200 см3/мин = 15-45 фунтов на кв. дюйм
7201-50000 см3/мин = 25-45 фунтов на квадратный дюйм
51-300 ст/мин = 30-90 фунтов на кв. дюйм
(типичные перепады давления)
Максимальное давление Стандартная серия GF: 150 фунтов на кв. дюйм (10 бар)
Серия GF с высоким расходом: расходомер = 75 фунтов на кв. дюйм (5 бар), контроллер = 150 фунтов на кв. дюйм (10 бар)
Утечка целостности 1×10 -10 атм см3/с He
Диагностика и отображение
Диагностические возможности Доступно
Индикаторы состояния Состояние MFC, состояние сети
будильники Выход регулирующего клапана, прерывание сети
Диагностический/служебный порт RS485 через разъем 2,5 мм (все модели)
Электрооборудование
Аналоговая связь 0-20 мА
4-20 мА
0-5 В постоянного тока
0-10 В постоянного тока
Цифровая связь DeviceNet™
Profibus®
S-протокол RS485
L-протокол RS485
Электрическое подключение Profibus/аналоговый через 9-контактный разъем «D»
RS485/аналоговый через 9-контактный разъем «D», 15-контактный разъем «D»
DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12»
Электропитание/потребление Стандартная серия GF: RS485 от +12 В до +24 В= = 7 Вт макс.;Profibus от +13,5 В до +27 В= = 7 Вт макс.DeviceNet™ от +11 В пост. тока до +25 В пост. тока = 13,6 Вт макс.
Серия High Flow GF: RS485 от +12 В пост. тока до +24 В пост. тока = 3,3 Вт макс. Profibus от +13,5 В до +27 В= = 3,3 Вт макс.DeviceNet™ от +11 В пост. тока до +25 В пост. тока = 3,3 Вт макс.
Сертификаты соответствия
EMC CE: EN6126: 2006 (FCC, IC-подмножество испытаний CE)
Экологическое соответствие Безопасность EN61010-1
RoHS

Инструкция по эксплуатации Brooks GF80

Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks GF80» с помощью специальной формы.

Вы можете купить Brooks Instrument GF80 в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте . Стоимость Brooks Instrument GF80 может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)