Каталог Brooks Instrument

Контроллеры и измерители давления серии PC100 сочетают в себе множество высокопроизводительных технологических характеристик, обеспечивающих новый уровень точности и надежности регулирования давления в сложных процессах производства полупроводников, осаждения паров и других сверхточных процессов.

Чем быстрее реагируют ваши контроллеры и измерители теплового массового расхода, тем более эффективными и производительными могут быть ваши процессы. В этом ключевое преимущество контроллеров и счетчиков серии 4800: Усовершенствованный тепловой датчик на основе MEMS в сочетании с запатентованным алгоритмом PID для оптимизации реакции регулирующего клапана позволяет контроллерам серии 4800 быстро согласовывать фактический массовый расход с любыми изменениями заданного значения. Дополнительный интерфейс локального оператора (LOI) обеспечивает удобный пользовательский интерфейс для просмотра, управления и конфигурирования устройств, устраняя необходимость в удаленной вторичной электронике.

Давление подачи или нагнетания может меняться. Но в регуляторах расхода от Brooks Instrument перепад давления через встроенный ручной регулирующий клапан остается постоянным. Внутренний регулирующий клапан с мембранным приводом принимает входящее давление с одной стороны и выходное давление с помощью пружины с другой стороны. Такая конструкция уравновешивает колебания давления для поддержания фиксированного перепада давления через клапан, что обеспечивает постоянный расход. Результатом является точное управление потоком для многих применений, связанных с газом и жидкостями. Может использоваться как самостоятельный регулятор расхода или монтироваться на расходомер для экономии места и улучшения монтажа.

Емкостные манометры серии MC от Brooks Instrument обеспечивают надежное и точное измерение вакуума в широком диапазоне рабочих температур, являясь экономичной альтернативой более крупным манометрам премиум-класса без подогрева. Компактная конструкция и проверенные рабочие характеристики делают их идеальной модернизацией для существующих инструментов, нуждающихся в малом форм-факторе манометра.

Если вам нужен компактный, экономичный массовый расходомер, обеспечивающий долговременное и стабильное измерение расхода без необходимости коррекции по температуре или давлению, тепловой массовый расходомер серии 5700 отвечает вашим требованиям. Он разработан специально для нужд измерения расхода продувочного газа, технологического анализа и аналитических измерений: экономичный и стабильный, с электрическим выходным сигналом, что делает его идеальным для замены турбинных расходомеров, расходомеров с переменной площадью и других объемных устройств.

Требуется надежное и долговечное измерение расхода в условиях высокого давления, высокой температуры или опасных технологических процессов? Расходомер с металлической трубкой MT3750 с переменной зоной низкого расхода от Brooks Instrument — это ваш надежный ответ

Максимально повысьте эффективность и производительность ваших процессов, зависящих от вакуума: Выбирайте цифровые вакуумные емкостные манометры серии XacTorr® от компании Brooks Instrument. Устройства серии XacTorr® обладают лучшими в отрасли характеристиками, которые повышают надежность измерений, минимизируют дрейф, противостоят загрязнению мембраны и минимизируют тепловые эффекты.

Серия GP200 — это первый полностью нечувствительный к давлению массовый регулятор расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников.

Спроектирован для работы там, где он вам нужен: Выберите расходомер MT3809 с переменной площадью (VA) для всех требований к измерению и контролю расхода при высоком давлении, высокой температуре VA в вашем следующем проекте.
Доказано, что MT3809 обеспечивает надежное, воспроизводимое измерение и контроль расхода газа и жидкости в тысячах установленных мест, он практичен и экономичен, что делает его лучшим выбором для подрядчиков по инженерным закупкам (EPC) и крупных промышленных предприятий по всему миру.

Вакуумметры серии VersaTorr BVT100 обладают лучшими в своем классе эксплуатационными характеристиками и установили новые стандарты, расширив диапазон измерения теплопроводности вакуумных манометров на 1-3 десятилетия.

Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в режиме реального времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность низкого заданного значения и снижает требования к техническому обслуживанию. Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15% от диапазона корзины) уменьшает утечку клапана для снижения эффекта первой пластины. Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения стабильного массового расхода.

Механический регулятор давления серии 8600 обеспечивает исключительную точность выходного давления благодаря управлению давлением подачи с высоким разрешением. Регулятор давления обеспечивает герметичное отключение гелия при давлении 7 бар.

Установите новые стандарты с помощью преобразователя Пирани серии VersaTorr BVT200/225. Это универсальное решение для измерения в широком диапазоне для широкого спектра вакуумных приложений. Он отличается от любых других вакуумметров тем, что предлагает общее экономически эффективное газонезависимое измерение от 5,0E-3 до 1333 мбар в сочетании с измерением до 1E-6 мбар за счет использования принципа тепловых потерь.

Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — именно такие характеристики обеспечивают массовые регуляторы расхода и измерительные приборы серии GF100 с металлическим уплотнением. Разработанная для полупроводников, MOCVD и других приложений управления потоком газа, серия GF100 превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяющиеся, высокостабильные характеристики в течение долгого времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности.

Механические манометры Brooks Instrument серии 122 были спроектированы и разработаны для требовательных высокочистых применений в полупроводниковой промышленности. Изготовленные из нержавеющей стали, наши механические манометры имеют точность 1% от полной шкалы. Эти двухдюймовые манометры являются долговечными измерительными устройствами, которые поставляются с различными технологическими соединениями, диапазонами давления и ориентацией гнезд, предлагая надежный и эффективный способ локального контроля давления. Получите точные, высокопроизводительные результаты от ведущего мирового поставщика манометров.

Модуль подачи пара (VDM) компании Brooks Instrument — это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной подачи деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Он имеет энергоэффективную конструкцию, позволяющую генерировать пар сверхвысокой чистоты при низкой температуре. В нем используется проверенная технология подачи пара и сочетается с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом удобном корпусе.

Для многих промышленных и полупроводниковых процессов решающее значение имеют производительность и экономическая эффективность. Металлические герметичные массовые регуляторы расхода и расходомеры серии GF80 обеспечивают и то, и другое: Созданные на основе того же быстродействующего датчика и запатентованной технологии MultiFlo™ 4-го поколения, что и наши бестселлеры серии GF100, они являются правильным выбором для предприятий, которым требуется высокая производительность по выгодной цене. Переход на MFC с металлическим уплотнением дает все преимущества MultiFloTM с возможностью работы с несколькими газами/многими диапазонами, поскольку нет ограничений по используемым газам, повышенная чистота газа благодаря устранению проницаемости кислорода через эластомеры, а также снижение затрат на техническое обслуживание, поскольку металлические уплотнения служат неограниченное время.

Массовые регуляторы расхода серии 5850EM с металлическим уплотнением измеряют и контролируют потоки газа высокого давления в сверхчистых средах с проверенной стабильностью, основанной на характеристиках широко используемых МФК серии 5850E и i. Металлическая герметичная конструкция и электрополированные смачиваемые поверхности обеспечивают исключительную целостность потока и помогают повысить общую эффективность процесса, устраняя необходимость постоянного контроля и перенастройки давления газа для обеспечения стабильного потока газа.

Для измерения давления в системах сверхвысокой чистоты и специальных газах во многих отраслях промышленности датчики и преобразователи давления должны обеспечивать стабильность и точность. Именно поэтому преобразователи высокого давления Brooks Instrument SolidSense II® сочетают в себе бесшовные, коррозионностойкие материалы и конструкцию, обеспечивающую превосходную стабильность нуля и точность в пределах 0,25% от полной шкалы.

Мы избегаем проблем, связанных с дрейфом нуля и диапазона, тепловым сдвигом и напряжением корпуса, которые приводят к проблемам технического обслуживания и простоям конкурирующих датчиков высокого давления. Вместо этого приборы SolidSense II® обеспечивают надежную, простую в обслуживании конструкцию, которая снижает общую стоимость владения.

Представьте себе выбор всего одной платформы контроллера массового расхода для обработки четырнадцати различных давлений или скоростей потока в одном процессе. И все это при обеспечении точно такого же, сверхточного и воспроизводимого выходного сигнала на другой стороне. Такова передовая простота, которую вы получаете с цифровыми контроллерами массового расхода и расходомерами серии SLA5800.

Высокотемпературные регуляторы массового расхода серии 5850EMH с металлическим уплотнением от компании Brooks Instrument сочетают в себе исключительную герметичность металлических уплотнений с разнообразием опций, обеспечивающих максимальную гибкость применения. Сердцем серии 5850EMH является высокостабильный датчик, который обеспечивает электрический выходной сигнал, линейный в зависимости от скорости потока. Этот сигнал используется для индикации, записи и/или управления без необходимости использования схемы автообнуления.

Регулятор давления и расходомер Brooks модели 5866RT с металлическим или эластомерным уплотнением контролирует давление, одновременно измеряя расход. Модель 5866RT получает сигнал от удаленного датчика давления и с помощью регулируемой встроенной электроники ПИД-регулирования и регулирующего клапана поддерживает заданное давление. Благодаря опциям уплотнений, электрополированным смачиваемым поверхностям и широкому диапазону измерения давления и расхода, модель 5866RT обеспечивает проверенные результаты в широком диапазоне процессов.

Несколько газов в одном устройстве — это максимальная гибкость и производительность процесса. Герметичные массовые расходомеры и контроллеры серии GF40 с эластомерным уплотнением и эксклюзивной технологией MultiFlo™ от Brooks Instrument — идеальный выбор для систем, процессов и объектов, в которых используются различные газы, часто меняются типы газов или требуется изменение диапазона при сохранении точности измерения и контроля газа. Это обеспечивает новый уровень гибкости процесса в сочетании с беспрецедентными характеристиками измерения и регулирования расхода.