+7 (495) 504 15 91

Пн-Пт: с 9:00 до 17:00 по МСК

Email:

Контроллер давления Brooks PC100

Контроллеры и измерители давления серии PC100 сочетают в себе множество высокопроизводительных технологических характеристик, обеспечивающих новый уровень точности и надежности регулирования давления в сложных процессах производства полупроводников, осаждения паров и других сверхточных процессов.

Производитель Brooks Instrument , Модель PC100

Самовывоз. Со склада в Москве, Санкт-Петербурге, Екатеринбурге, Казани и Алма-Аты (Казахстан).
Доставка по России и СНГ. Отправка транспортной компанией в любой регион

Срок поставки: от 8 недель

цена по запросу. Расчет стоимости прибора Brooks PC100 по программе параллельного импорта занимает 3-5 дней. Мы отправляем запрос в зарубежный офис Brooks Instrument через наши представительства в Латвии, Казахстане и ОАЭ.

Галочка Галочка

Под заказ

Преимущество

Гарантированные поставки от зарубежных производителей

Имеем офисы в Латвии, Казахстане и ОАЭ, поэтому имеем возможность закупать и завозить в Россию контрольно-измерительные приборы от зарубежных производителей.

Преимущество

Выгодные цены для предприятий и торгующих организаций

Гарантирована сохранность средств клиентов независимо от изменения курса валют. Предоставляем скидки для производств и торговых организаций.

Преимущество

Доставка импортных приборов за 90 дней из Европы, США и Азии

Гарантируем выполнение заказа в согласованный срок. Сроки поставки КИПиА фиксируются в договоре. Доставка по России и СНГ оплачивается покупателем.

Преимущество

Профессиональный консалтинг и подбор аналогов

Подберем лучший вариант из доступного контрольно-измерительного оборудования по соотношению цены, качества и срокам.

Описание контроллера давления Brooks PC100

Созданные на основе проверенной технологии контроллера массового расхода Brooks GF100, приборы серии PC100 имеют цельнометаллический проточный тракт высокой чистоты, усовершенствованную технологию датчика, разработанную специально для устранения дрейфа датчика, а также пользовательский интерфейс и возможность диагностики прибора, что значительно облегчает оценку прибора и устранение неисправностей, что приводит к ограничению перерывов в обслуживании и сокращению времени простоя.

Особенности

  • Время отклика: <1 секунда
  • Полномасштабный расход до 10 слм
  • Диапазон давления преобразователя: 1000 Торр FS
  • Пропускная способность цельнометаллического уплотнения: обработка поверхности 5 мк дюймов Ra
  • PC125 со встроенным расходомером включает в себя высококоррозионностойкий датчик расхода Hastelloy® C-22 в сочетании с высокоскоростным процессором ARM
  • Быстродействующий безмембранный клапанный узел
  • ЖК-дисплей с высокой видимостью и легкодоступной кнопкой для локальной индикации расхода, температуры и сетевого адреса
  • Независимый диагностический/сервисный порт
  • Протокол DeviceNet™

Преимущества

  • Высокопроизводительные компоненты обеспечивают быстрый отклик и время настройки для улучшения контроля давления
  • Сокращение потребления отводимого газа и связанных с этим расходов на ликвидацию последствий аварии
  • Полностью металлический, коррозионностойкий контур смачиваемого потока, соответствующий стандарту SEMI F20, с общей уменьшенной площадью поверхности и незаполненными объемами обеспечивает более быстрое осушение на этапах продувки.
  • Долгосрочная стабильность устройства датчика температуры или давления максимизирует выход продукции и производительность
  • Программируемая пользователем функция запуска для процессов, требующих медленного регулирования давления

Сферы применения

  • Усовершенствованные инструменты для травления полупроводников
  • Системы тонкопленочного химического осаждения из паровой фазы (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD)

Технические характеристики Brooks PC100

Тип продукта Контроллер давления
Дифференциатор Режим управления: нисходящий или восходящий
Сверхвысокая чистота
Цифровой контроль давления
Производительность
Диапазон расхода (полная производительность) 10 см (только N2 или H2)
Точность Показание давления: ± 1% от показания
Контроль давления: ± 0,2% полной шкалы <10% полной шкалы; ± 1% от показаний >10% до 100% полной шкалы
Показания расхода: ± 0,35% полной шкалы 2-35% полной шкалы; ± 1% от показаний >35% полной шкалы
Повторяемость < ±0,2% полной шкалы
Температурный коэффициент подачи Ноль: <0,05% полной шкалы/°C
Диапазон: < 0,08% от показаний/°C
Максимальное давление 1000 Торр ФС
Диапазон регулирования давления > 2 до 100%
Время отклика < 1 сек тип. (исключая системную постоянную времени)
Диапазон температур 10 — 50°С
Утечка целостности Внешний: 1 x 10 -10 атм scc/сек He макс.
Механика
Материал уплотнения Металл
Уровень чистоты/обработка поверхности 5 мк дюймов Ra
Смачиваемые материалы SEMI F20 HP совместимый
316 л ВИМ/ВАР
Хастеллой С-22
Нержавеющая сталь 316L
304 нержавеющая сталь
Опции клапана нормально закрытый
Электрооборудование
Диагностические возможности Доступно
Аналоговая связь
Цифровая связь DeviceNet™
Электрическое подключение DeviceNet™ через 5-контактный разъем «M12»
Электропитание/потребление DeviceNet™: макс. 545 мА при +11–25 В постоянного тока
Сертификаты соответствия
EMC Директива ЕС 2014/30/ЕС
СЕ: EN61326-1: 2013
Экологическое соответствие Директива RoHS (2011/65/ЕС)
REACH Директива ЕС 1907/2006

Инструкция по эксплуатации Brooks PC100

Вы можете запросить необходимые сертификаты, документацию, инструкцию и руководство по эксплуатации к « Brooks PC100» с помощью специальной формы.

Вы можете купить Brooks Instrument PC100 в Москве по выгодной цене в компании «МИРКИП 2017», оставив заявку на сайте, по телефону +7 (495) 504 15 91 или по электронной почте . Стоимость Brooks Instrument PC100 может измениться в зависимости от внешнеполитической обстановки и курсов валют. Доставляем приборы транспортными компаниями по России и СНГ (Беларусь, Казахстан и др.)